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晶片產(chǎn)品參數(shù)

電學(xué)參數(shù)

UID：1×10¹⁶~5×10¹⁷ cm-3；Sn：≥1×10¹⁸ cm-3；Fe：絕緣≥1×10¹⁰ Ω·cm

晶面：(010)

雙晶搖擺半高寬：≤350”

位錯密度：<1×10⁵ cm^-2

尺寸：10 mm×10.5 mm×0.7 mm

參考邊：長邊為[100]方向

加工指標(biāo)

晶面偏差：<±1.0°；厚度: 0.7 mm±0.05 mm；表面拋光：單面拋光；表面粗糙度：拋光面 Ra<1.0 nm

產(chǎn)品外形示意圖