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晶片產(chǎn)品參數(shù)

電學(xué)參數(shù)

UID：1×10¹⁶~5×10¹⁷ cm-3；Sn：≥1×10¹⁸ cm-3；Fe：絕緣≥1×10¹⁰ Ω·cm

晶面：(001)

雙晶搖擺半高寬：≤150”

位錯(cuò)密度：<1×10⁵ cm^-2

尺寸：10 mm×10.5 mm×0.5 mm

參考邊：長(zhǎng)邊為[010]方向

加工指標(biāo)

晶面偏差：<±0.5°；厚度: 0.5 mm±0.05 mm；表面拋光：?jiǎn)蚊鎾伖?；表面粗糙度：拋光?Ra<0.5 nm

產(chǎn)品外形示意圖