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國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“大尺寸氧化鎵半導(dǎo)體材料與高性能器件研究” 項(xiàng)目啟動(dòng)暨實(shí)施方案論證會(huì)順利召開

發(fā)布時(shí)間:2023-09-11

9月4日,國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“新型顯示與戰(zhàn)略性電子材料”重點(diǎn)專項(xiàng)“大尺寸氧化鎵半導(dǎo)體材料與高性能器件研究”項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)在杭州富陽順利召開。

該項(xiàng)目由中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所牽頭,聯(lián)合廈門大學(xué)、吉林大學(xué)、中國電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所、北京中材人工晶體研究院有限公司、復(fù)旦大學(xué)、電子科技大學(xué)、杭州光學(xué)精密機(jī)械研究所、杭州富加鎵業(yè)科技有限公司多家單位協(xié)同攻關(guān)。

出席本次會(huì)議的專家有浙江大學(xué)楊德仁院士、長光華芯光電技術(shù)有限公司廖新勝正高級工程師、中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所林健研究員、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)龍世兵教授、電子科技大學(xué)羅小蓉教授、浙江大學(xué)盛況教授、中國航天科技集團(tuán)公司第五研究院508所孫世君研究員、山東大學(xué)陶緒堂教授、中國科學(xué)院微電子研究所王鑫華研究員、中國科學(xué)院上海分院吳成鐵研究員、南京大學(xué)葉建東教授、復(fù)旦大學(xué)周鵬教授。依托單位張龍副所長及項(xiàng)目和課題相關(guān)人員四十余人參會(huì)。楊德仁院士為本次會(huì)議專家組組長。

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上海光機(jī)所副所長、杭州光機(jī)所理事長張龍研究員代表項(xiàng)目承擔(dān)單位致歡迎詞,感謝各位專家不辭辛勞,從全國各地來參加此次會(huì)議,并簡要介紹了杭州光機(jī)所的總體情況。項(xiàng)目負(fù)責(zé)人齊紅基研究員匯報(bào)了項(xiàng)目總體實(shí)施方案及各課題的研究內(nèi)容、研究目標(biāo)、實(shí)施方案等。

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項(xiàng)目面向發(fā)展氧化鎵基日盲紫外探測及功率電子器件的迫切需求,以解決氧化鎵單晶襯底和外延薄膜缺陷與摻雜機(jī)制,微觀電子結(jié)構(gòu)、薄膜物性和器件性能構(gòu)效關(guān)系等關(guān)鍵科學(xué)問題為基礎(chǔ),突破 6英寸單晶熱場設(shè)計(jì)、高質(zhì)量外延膜生長、器件核心結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等關(guān)鍵技術(shù),研制出新一代高性能氧化鎵基功率及探測器件。

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本項(xiàng)目的實(shí)施將打通氧化鎵材料、外延到器件的全鏈路,研究成果有望逐步應(yīng)用于電動(dòng)汽車、光伏變電、艦艇綜合電力、雷達(dá)探測、日盲紫外預(yù)警及環(huán)境監(jiān)測等方向,對推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化和經(jīng)濟(jì)發(fā)展具有積極的意義。同時(shí)也有助于打破國外相關(guān)技術(shù)封鎖,提升我國在該領(lǐng)域日趨激烈的國際競爭中的地位,推動(dòng)我國在寬禁帶半導(dǎo)體領(lǐng)域的發(fā)展。

與會(huì)專家認(rèn)真聽取和充分論證了項(xiàng)目實(shí)施方案,并給予了充分肯定,對項(xiàng)目研究目標(biāo)、研究內(nèi)容及各課題間協(xié)調(diào)統(tǒng)籌、合作交流等方面提出了具有建設(shè)性的指導(dǎo)意見。專家組經(jīng)過質(zhì)詢討論后,一致同意通過項(xiàng)目實(shí)施方案論證。

會(huì)議期間,張龍副所長帶領(lǐng)專家和項(xiàng)目組代表參觀了杭州光機(jī)所并介紹了富加鎵業(yè)發(fā)展情況,杭州富加鎵業(yè)科技有限公司成立于20191231日,是杭州光機(jī)所第一批孵化企業(yè),在這三年期間公司專注于寬禁帶半導(dǎo)體材料研發(fā),公司核心創(chuàng)始人具有中科院博士、劍橋大學(xué)博士等材料領(lǐng)域的深厚背景,團(tuán)隊(duì)成員主要來自中國科學(xué)院、美英海歸等業(yè)內(nèi)資深人才,研發(fā)人員中碩士以上比例達(dá)到80%;公司擁有多臺(tái)大尺寸導(dǎo)模法晶體生長爐、多氣氛晶體退火爐、高精密拋光機(jī)等儀器設(shè)備,為公司的發(fā)展提供了基礎(chǔ)支撐和持續(xù)創(chuàng)新動(dòng)力。申請中國發(fā)明專利共8項(xiàng),實(shí)用新型25項(xiàng),國際PCT專利1項(xiàng)(摻雜氧化鎵晶態(tài)材料及其制備方法和應(yīng)用,WO2018137673A1),申請進(jìn)入歐盟、美國、日本、韓國、新加坡等國家。

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