9月10日，杭州富加鎵業(yè)科技有限公司6英寸氧化鎵單晶及外延片生長線在杭州富陽開工建設。這是國內(nèi)首條6英寸氧化鎵單晶及外延片生長線，與國際同時起步的6英寸單晶生長技術及更加適合量產(chǎn)的外延技術將“換道超車”，助力新型超寬禁帶半導體氧化鎵產(chǎn)業(yè)鏈高質(zhì)量快速發(fā)展。

據(jù)了解，目前國際上僅僅有日本NCT（Novel Crystal Technology, Inc）有6英寸氧化鎵量產(chǎn)計劃。NCT公司的6英寸氧化鎵單晶及外延片生長線，是其國內(nèi)第一條6英寸氧化鎵單晶及外延片生長線。杭州富加鎵業(yè)是國內(nèi)目前唯一一家同時具備6英寸單晶生長及外延的公司。該生產(chǎn)線高度集成單晶生長、襯底加工、外延及檢測，項目建成后，具備年產(chǎn)1萬片6英寸氧化鎵單晶及外延片能力。整條產(chǎn)線涉及 “一鍵長晶”單晶生長設備、多線切割設備、高精度研磨拋光設備、倒角設備、激光加工設備、全自動化晶片清洗設備、高通量外延設備、表面缺陷檢測儀、電學性能測試儀等關鍵設備。面向未來，6英寸的氧化鎵單晶及外延片將為下游器件廠商提供穩(wěn)定可控的高質(zhì)量氧化鎵材料。

圖1 6英寸氧化鎵單晶襯底及外延片生長線（杭州富陽）

杭州富加鎵業(yè)科技有限公司成立于 2019年 12 月 31 日，是杭州光學精密機械研究所注冊成立的第一家“硬科技〞企業(yè)，公司以“讓世界用上好材料”為愿景，開展寬禁帶半導體氧化鎵材料的產(chǎn)業(yè)化工作，主要從事氧化鎵單晶材料生長、氧化鎵襯底及外延片研發(fā)、生產(chǎn)和銷售工作，產(chǎn)品主要應用于功率器件、微波射頻及光電探測等領域。

目前，公司已獲得多項榮譽：

2022年獲得浙江省科技型中小企業(yè)；2023年獲得國家高新技術企業(yè)；2024年獲得杭州市企業(yè)高新技術研發(fā)中心及浙江省專精特新中小企業(yè)；另外，獲得國際專利授權12項（美國6項，日本6項），國內(nèi)專利授權37項，“富加鎵業(yè)”商標認證注冊3項，軟件著作權（晶體生長控制軟件）2項。